產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
薄膜臺階形貌、粗糙度、波紋度。
詳情介紹：
測量范圍
導(dǎo)軌直線度：≤0.05μm/10mm(λ=0.25mm)
采數(shù)間隔：0.05μm
傳感器線性精度：0.1μm+0.2% f.s
傳感器量程/分辨率比：1：262144
輔助電子攝像單元：30萬像素
載物臺X、Y向定位精度：0.02mm
傳感器Z向移動定位精度：0.02mm
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儀器特點(diǎn)
采用氣浮隔振機(jī)臺隔離環(huán)境振動對測量的影響。
測力控制單元采用音圈電機(jī)實(shí)時控制以保證輕測量力。
測量時用罩殼隔離空氣流動對測量的影響。
采用電子攝像單元輔助測量調(diào)整及測量過程控制。
配置多維電動載物臺對零件測量部位進(jìn)行測量。
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